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[发明专利]气体流量控制器-CN201180058238.4有效
发明人： D·哈丁;M·霍尔兹沃思;D·帕帕佐格劳 -专利权人：技术信息有限公司
申请日： 2011-12-02 - 公布日： 2013-08-21 - 主分类号： B03D1/24 文献下载
摘要：本发明涉及一种浮选气体流量控制器，以用于控制从碎矿石中将有价值的矿物与其他物料分离的浮选室的浮选气体流量。该气体流量控制器包括用于控制通向浮选室的气体流量的阀和用于监测经过阀的通向浮选室的气体流量的流量计。该流量计也用于根据要求调节阀以改变气体流量大小从而满足浮选室的气体流量的要求。本发明还涉及包括气体流量控制器的浮选室、流量控制系统，和用于利用气体流量控制器控制通向浮选室的气体流量的方法。
气体流量控制器

[其他]气体流量控制器-CN87103348无效
发明人：白井滋;山本芳雄;长冈行夫 -专利权人：松下电器产业株式会社
申请日： 1987-05-07 - 公布日： 1987-12-09 - 主分类号： F23N1/00 文献下载
摘要：在调节气体燃烧装置的气体燃烧量时所采用的一种气体流量控制器。该气体流量控制器的结构中，用马达转动位于开关内部的关闭件。在该关闭件的轴线方向上设置有多个孔，在关闭件外壁周向设置有与孔一一对应的多个槽。该气体流量控制器的优点在于能够保证高的气体流量精度、高的缩减比和低的能量消耗。
气体流量控制器

[发明专利]气体流量控制器-CN87103348.8无效
发明人：白井滋;山本芳雄;长冈行夫 -专利权人：松下电器产业株式会社
申请日： 1987-05-07 - 公布日： 1990-06-27 - 主分类号： F23N1/00 文献下载
摘要：在调节气体燃烧装置的气体燃烧量时所采用的一种气体流量控制器。该气体流量控制器的结构中，用马达转动位于开关内部的关闭件。在该关闭件的轴线方向上设置有多个孔，在关闭件外壁周向设置有与孔一一对应的多个槽。该气体流量控制器的优点在于能够保证高的气体流量精度，高的缩减比和低的能量消耗。
气体流量控制器

[实用新型]气体流量控制器-CN200820143071.7无效
发明人：周冰洁 -专利权人：周冰洁
申请日： 2008-11-14 - 公布日： 2009-08-05 - 主分类号： G07F15/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种气体流量控制器。气体流量控制器，包括用于计数和显示气流流量的表头、用于控制阀体开合的开关阀组件和用于控制气流通断的阀体，其特征在于，所述的阀体还包括一个先导阀，即在主阀板上开孔，并在该孔上安装一个先导阀芯；该先导阀芯固接在开关阀组件的中轴上位于主阀板连接处的上端
气体流量控制器

[外观设计]气体流量控制器-CN202130833482.X有效
发明人：汤成远 -专利权人：江苏特瑞达信息技术有限公司
申请日： 2021-12-16 - 公布日： 2022-04-15 - 主分类号： 10-05 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：气体流量控制器。2.本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于控制气流，感应气流流量。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
气体流量控制器

[外观设计]气体流量控制器-CN202330253397.5有效
发明人：仝西战;仝西甲;孔令洋;马龙 -专利权人：山东新泽仪器有限公司
申请日： 2023-05-04 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： 10-05 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：气体流量控制器。2.本外观设计产品的用途：用于气体报警器检定/校准等控制气体流量的场合。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
气体流量控制器

[实用新型]低压化学气相淀积反应系统-CN200720144353.4有效
发明人：朴松源;白杰;何有丰;唐兆云 -专利权人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
申请日： 2007-12-13 - 公布日： 2008-10-22 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：一种LPCVD反应系统，包含提供反应气体的气体源、流量控制器、气体喷放装置以及反应腔室，所述气体源、流量控制器和气体喷放装置通过气体管路顺序相接；所述反应气体由所述气体源流出，经由所述流量控制器及气体喷放装置进入所述反应腔室；所述反应系统还包含压力控制器，所述压力控制器与连接气体源和流量控制器的气体管路以及连接流量控制器和气体喷放装置的气体管路分别相连；所述流量控制器为低压流量控制器。可增强进入其内的流量控制器的氟化氢气体的稳定性。
低压化学气相淀积反应系统

[实用新型]便携式动态配气系统-CN201620545072.9有效
发明人：阚丽洁;陆荣;李建华;王旭辉 -专利权人：无锡市计量检定测试中心
申请日： 2016-06-07 - 公布日： 2016-11-23 - 主分类号： G01N33/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种便携式动态配气系统，其特征是：包括A通道稀释气体入口、B通道标准气体入口、A通道质量流量控制器、B通道质量流量控制器、质量流量控制器驱动电路、样品气体出口和排放气体出口；所述A通道稀释气体入口连接A通道质量流量控制器，B通道标准气体入口连接B通道质量流量控制器，A通道质量流量控制器通过样品气体出口调节阀连接样品气体出口，B通道质量流量控制器通过排放气体出口调节阀连接排放气体出口；所述A通道质量流量控制器、B通道质量流量控制器和质量流量控制器驱动电路连接，质量流量控制器驱动电路与控制终端连接。本实用新型实现在工作现场配制系列浓度的标准气体，方便企业各种量程气体分析仪器的检测。
便携式动态系统

[发明专利]用于快速气体交换、快速气体切换以及可编程的气体输送的方法与装置-CN201280028710.4有效
发明人： S·辛格;R·C·南古瓦 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2012-04-25 - 公布日： 2017-02-15 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明的实施例关于气体输送系统。该气体输送系统包括与一个或更多个气体控制板及一处理腔室流体连通的快速气体交换模块。快速气体交换模块具有第一组流量控制器及第二组流量控制器且其中每一组流量控制器都具有多个流量控制器。配置流量控制器以使得将在第一组流量控制器及第二组流量控制器中的每一个流量控制器独立操作以选择性地打开，从而将气体分流至处理腔室或排气装置。操作第一组流量控制器及第二组流量控制器以将在流量控制器致动的预定时序中的气体的切换同步。本发明使处理腔室中的合成气流能够快速切换，同时将个别流量控制器以更低切换速度操作而提供更长使用寿命。
用于快速气体交换切换以及可编程输送方法装置

[发明专利]气体流量控制器的校准方法、校准系统及进气装置-CN201910828034.2有效
发明人：韩笑娜;姜宏伟;陈庆 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2019-09-03 - 公布日： 2022-05-27 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种气体流量控制器的校准方法、校准系统及进气装置，该流量控制器的校准方法包括以下步骤：S1，接收用户输入的所述气体流量控制器的气体流量设定值，向所述气体流量控制器输出所述气体流量设定值；S2，通过气体流量传感器检测所述气体流量控制器所在管路的实际气体流量值；S3，判断所述气体流量设定值与所述实际气体流量值的差值的绝对值是否小于或等于预设阈值；若是，根据预先建立的补偿关系获取与所述气体流量设定值对应的气体流量补偿值，并向所述气体流量控制器输出所述气体流量补偿值；若否，进行报警。通过本发明，提高了流量控制器调试及维护的便捷度。
气体流量控制器校准方法系统装置

[实用新型]低压化学气相淀积反应系统-CN200720144360.4有效
发明人：朴松源;白杰;何有丰;唐兆云 -专利权人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
申请日： 2007-12-13 - 公布日： 2008-10-22 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：一种LPCVD反应系统，包含提供反应气体的气体源、流量控制器、气体喷放装置以及反应腔室，所述气体源、流量控制器和气体喷放装置通过气体管路顺序相接；所述反应气体由所述气体源流出，经由所述流量控制器及气体喷放装置进入所述反应腔室；所述反应系统还包含压力控制器，所述压力控制器与连接气体源和流量控制器的气体管路以及连接流量控制器和气体喷放装置的气体管路分别相连；在所述气体源和流量控制器之间的气体管路外壁还连接有用以加热流经所述气体管路的反应气体的控温装置可增强进入其内的流量控制器的氟化氢气体的稳定性。
低压化学气相淀积反应系统

[发明专利]气溶胶发生装置-CN201610872121.4有效
发明人：张文阁;周素红;张凤英 -专利权人：北京九州鹏跃科技有限公司;中国计量科学研究院
申请日： 2016-09-30 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： G01N15/06 文献下载
摘要：本发明提供一种气溶胶发生装置，包括：分别与压缩机相连通的第一浓度粒子储存罐、第二浓度粒子储存罐、第三浓度粒子储存罐；压缩机、过滤干燥器、雾化器、气溶胶发生器、混合加热器和混合平衡分配器依次相连接，并分别与控制装置相连接；其中，雾化器的出口分成三路，分别与震荡气体流量控制器、发生气体流量控制器和稀释气体流量控制器的入口相连通，震荡气体流量控制器和发生气体流量控制器的出口与气溶胶发生器相连通，稀释气体流量控制器与混合加热器相连通，从过滤干燥器出来的洁净干燥的空气经过雾化器能够根据预定的选择进入震荡气体流量控制器、发生气体流量控制器或稀释气体流量控制器。
气溶胶发生装置

[发明专利]电弧焊接装置-CN201110059208.7有效
发明人：广田周吾;伊藤孝一郎;西村大;大久保淳 -专利权人：株式会社大亨
申请日： 2011-03-09 - 公布日： 2014-12-17 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：若用质量流量控制器单体来控制保护气体的流量，则存在焊接开始时气体流量不足的情况。本发明提供一种电弧焊接装置(1)，其具有质量流量控制器(31)，并具备用于从气缸(30)经由质量流量控制器(31)向焊炬(7)提供气体的气体通路。将气体电磁阀(33)设置于质量流量控制器(31)和焊炬(7)之间的气体通路上。机器人控制器(16)在气体停止时，使气体电磁阀(33)进行关动作，接着在经过了预先规定的延迟时间后，停止来自质量流量控制器(31)的气体输出。在下次气体输出开始时使气体电磁阀(31)进行开动作，同时开始来自质量流量控制器(31)的气体输出。通过喷出填充的气体，能够补充用质量流量控制器(31)单体不足的气体流量。
电弧焊接装置

[实用新型]一种气体流量控制器临时安装支架-CN202320284162.7有效
发明人：刘学 -专利权人：沈阳东固真空设备有限公司
申请日： 2023-02-22 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： B25B11/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及气体流量控制器技术领域，尤其为一种气体流量控制器临时安装支架，包括气体流量控制器主体、底座和调节块，所述气体流量控制器主体左右两端均固定连接有铁板，所述铁板内侧滑动连接有磁板，所述磁板远离气体流量控制器主体中心的一端外侧固定连接有固定块，所述固定块外侧滑动连接有限位圈，通过设置的底座、铁板、磁板、固定块、限位圈和卡板，在使用时，能够在安装时对气体流量控制器主体进行辅助支撑，降低安装的难度，使气体流量控制器主体的安装更加精确，可以将底座三百六十度转动，调节底座的固定位置，在安装好气体流量控制器主体时更加稳定。
一种气体流量控制器临时安装支架

[发明专利]一种自动动态配气系统及其配气方法-CN201910667970.X在审
发明人：高志强;顾潮春;刘乙;谢兆明;赵玲宝;魏庆瑶 -专利权人：江苏春潮科技发展有限公司
申请日： 2019-07-23 - 公布日： 2019-10-22 - 主分类号： B01F15/04 文献下载
摘要：一种自动动态配气系统，包括稀释气体、被稀释气体、气体混合腔、质量流量控制器、气体流通管及气体检测装置；气体混合腔具有三个进气口和一个出气口，稀释气体出气口与气体混合腔一个进气口连接，稀释气体与气体混合腔管路上设置有质量流量控制器Ⅰ，气体混合腔出气口与气体检测装置进气口连接；气体流通管具有多个进气口和两个出气口，被稀释气体通过进气口依次与气体流通管连接，两个出气口与气体混合腔两个进气口连接；气体流通管与气体混合腔之间设有质量流量控制器Ⅱ和质量流量控制器Ⅲ，质量流量控制器Ⅰ量程大于质量流量控制器ⅡⅢ的量程，质量流量控制器Ⅱ量程大于质量流量控制器Ⅲ量程。本发明测试气体传感器速度快、耗时短、效率高。
质量流量控制器气体混合腔稀释气体出气口气体流通管进气口量程进气口连接气体检测装置配气系统自动动态测试气体传感器耗时

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